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探針臺怎么選合適的配置，怎么確定精度？
通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型：
1、最大需要測幾英寸的晶圓或者器件？
2、探針臺機械精度要求多高？
3、點測樣品的尺寸規格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的minipad，還是ic內部的metal？
4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡最大倍率200倍）
5、最多需要幾根探針同時去點測？
6、會測試到的最大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對夾具的要求也會越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）
7、漏電精度需要達到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀夾具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：最小能測到的電流的量級）
8、是否會用到探針卡？
9、光學顯微鏡的最小分辨率需要用到多少？
10、顯微
2018-11-0910135
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2018-11-085090
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直流輝光放電中等離子體診斷實驗操作指導手冊
2018-11-065200
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近代物理實驗“氣體放電中等離子體的研究”出實驗設備啦，一次由理論到實踐的轉變就從SSV-40開始
背景：實驗“氣體放電中等離子體的研究”為大學近代物理實驗中的必修實驗之一，但是一直以來都沒有公司或者是個人生產出完整的相對應的實驗設備，因此該實驗一直處于紙上談兵的狀態，今天由東北大學真空與流體工程研究所教授團隊針對此實驗經過多年的研究，終于開發出SSV-40型氣體放電與等離子診斷儀，并且面向全國各高校發售，從此實驗“氣體放電中等離子體的研究”從理論走向實踐，從書本走向現實。
產品信息：
整套設備包括朗繆爾探針、氣體放電管、測量系統、真空系統、進氣系統等部分組成。
朗繆爾探針、工作電壓、工作氣壓、氣體流量等部分均可獨立控制并且自由調節。
利用該裝置可實現的主要實驗內容有：
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2018-10-246043
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探針臺系統剖析
探針臺系統分為手動探針臺與自動探針臺，以下我們主要分析手動探針臺：
探針臺用途：
手動探針臺又稱探針測試臺主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對芯片進行科研分析，抽查測試等用途。
探針臺系統組成：
探針臺臺體+顯微鏡+探針座+探針夾具+探針+測試源表（請注意無測試源表就構成不了系統，探針臺只是提供一個測試平臺，一切數據的測量都需要依靠測試源表來完成）
探針臺測試環境：
可提供的測試環境有：常溫、高溫、高低溫測試、真空高低溫、高壓、輻射以及磁場環境。
2018-10-055169
