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氣體放電與等離子體診斷儀
氣體放電與等離子體診斷儀

SSV-40型氣體放電與等離子體診斷儀由東北大學(xué)真空與流體工程研究所教授團(tuán)隊(duì)研究開(kāi)發(fā),面向全國(guó)各高校。

整套設(shè)備包括朗繆爾探針、氣體放電管、測(cè)量系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)等部分組成。

朗繆爾探針、工作電壓、工作氣壓、氣體流量等部分均可獨(dú)立控制并且自由調(diào)節(jié)。

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氣體放電與等離子體診斷儀

產(chǎn)品信息:

SSV-40型氣體放電與等離子體診斷儀由東北大學(xué)東北大學(xué)真空與流體工程研究所教授團(tuán)隊(duì)研究開(kāi)發(fā),面向全國(guó)各高校。整套設(shè)備包括朗繆爾探針、氣體放電管、測(cè)量系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)等部分組成。朗繆爾探針、工作電壓、工作氣壓、氣體流量等部分均可獨(dú)立控制并且自由調(diào)節(jié)。

從而利用該裝置可實(shí)現(xiàn)的主要實(shí)驗(yàn)內(nèi)容有:

1. 氣體放電下放電管的V-I特性

2. 放電管內(nèi)輝光放電外型圖

3. 等離子體分析








通過(guò)上述實(shí)驗(yàn)應(yīng)使學(xué)生充分理解的知識(shí)點(diǎn)包括:

1. 湯生放電原因以及過(guò)程

2. 帕刑定律以及著火電壓

3. 放電管的V-I 特性及原因

4. 輝光放電的外型及解釋

5. 空間電荷及等離子體

6. 等離子體空間電位

7. 等離子體懸浮電位

8. 等離子體密度(電子密度=離子密度)

9. 電子溫度

10. 朗繆爾探針(單探針)進(jìn)行等離子體診斷的理論

主要技術(shù)參數(shù):

1.設(shè)備尺寸:850×500×1700 mm,可移動(dòng);

2.電源特性:220V AC,50Hz;

3.總功率:500W;

4.工作壓力范圍:20~80Pa,可調(diào);

5.放電電流范圍:0~5mA;

6.放電管尺寸:φ35×300mm2;

7.放電電壓范圍:0~1300V;

8.電極:φ30圓盤電極,304不銹鋼,極間距可調(diào);

9.朗繆爾探針:φ0.2mm,長(zhǎng)10mm,鎢絲;

10.探針驅(qū)動(dòng)電壓:-100V~100V

11.探針電流:0~1000uA

12.極限真空:<1 Pa,<2 min

13.環(huán)境要求:-30~40℃,干燥清潔







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