CINDBEST CL-4 | 4~8" 精密I-V測試測量探針臺(tái)系統(tǒng)
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特點(diǎn) / 應(yīng)用
◆ 滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等.
◆ 最大可用于8英寸以內(nèi)樣品測試
◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)
◆ 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)
◆ 可升級(jí)做射頻，大電流方面的測試和激光修復(fù)應(yīng)用 |
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臺(tái)體規(guī)格：
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尺寸 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
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水平旋轉(zhuǎn) |
可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 |
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X-Y移動(dòng)行程 |
4英寸*4英寸/6英寸*6英寸 |
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X-Y移動(dòng)精度 |
10微米/1微米 |
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樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié) |
可升降10mm |
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樣品固定 |
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán) |
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針座平臺(tái) |
U型針座平臺(tái)，最多可放置6個(gè)探針座 |
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背電極測試 |
樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極 |
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外形尺寸 |
400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高 |
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重量 |
約40千克/60千克 |
光學(xué)系統(tǒng)：
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顯微鏡類型 |
單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
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放大倍率 |
16X-200X/20X-4000X |
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移動(dòng)行程 |
X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm |
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光源 |
外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
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CCD |
200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
探針座
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X-Y-Z移動(dòng)行程 |
12mm*12mm*12mm |
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移動(dòng)精度 |
10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
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吸附方式 |
磁力吸附/真空吸附 |
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線纜 |
同軸線/三軸線 |
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漏電精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探針 |
彈簧固定/管狀固定 |
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接頭類型 |
BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
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針尖直徑 |
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
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針尖材質(zhì) |
鎢鋼/鈹銅 |
可選附件
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加熱臺(tái) |
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顯示器 |
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轉(zhuǎn)接頭 |
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射頻測試配件 |
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屏蔽箱 |
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光學(xué)平臺(tái) |
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鍍金卡盤 |
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光電測試配件 |
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高壓測試配件 |
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顯微鏡快速傾仰裝置 |
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激光系統(tǒng) |
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探針卡夾具 |
PS:探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。
規(guī)格及設(shè)計(jì)如有更改，恕不另行通知。
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