CINDBEST CRX|SM 低溫超導真空探針臺測試系統
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特點/應用
◆2英寸樣品臺
溫度范圍：8K-300K
◆ 垂直超導磁場
◆ 全溫區內垂直磁場強度：±3T
◆6個探針臂接口
◆ 允許非監督降溫
◆ 循環電制冷，無需制冷劑
◆一鍵制冷、一鍵回溫、自動控溫、自動控場 ◆自動測試功能
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◆ 腔體規格：
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型號 |
CRX-SM |
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樣品臺尺寸 |
2英寸 |
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樣品固定 |
彈簧壓片 |
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觀察窗口 |
50mm |
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真空度 |
3*10-5(Torr) |
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探針臂接口 |
最多6個探針臂接口 |
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其他接口 |
電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口 |
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制冷方式 |
GM制冷機 |
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溫度范圍 |
8K到300K |
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溫控精度 |
0.1K/0.01K/0.001K |
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穩定性 |
<10K@±50mK,10K到100K@±10mK 100K到300K@±10mK |
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外形 |
872mmW*962mmD*1400mmH |
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重量 |
約130千克 |
◆ 磁場
磁場類型
超導磁體
磁場方向
垂直
磁場控制
電流控制
磁場大小
±3T(8K~300K全溫區范圍內)
磁場均勻性
0.5%10mm直徑;1%25%mm直徑
◆ 光學系統：
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顯微鏡類型 |
單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
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放大倍率 |
16X-200X/20X-4000X |
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移動行程 |
水平360度旋轉，Z軸行程50.8mm |
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光源 |
同軸光源 |
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CCD |
200萬像素/1200萬像素 |
◆ 探針臂：
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X-Y-Z移動行程 |
25mm*70mm*15mm |
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結構 |
外置探針臂，真空波紋管結構 |
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移動精度 |
2微米 |
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線纜 |
同軸線/三軸線/射頻線 |
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漏電精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探針 |
螺絲固定 |
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接頭類型 |
BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
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頻率支持 |
DC-67GHZ |
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針尖直徑 |
10um/20um/50um |
◆ 其他組件：
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真空組件 |
分子泵組 |
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冷源組件 |
制冷機 |
◆ 可選附件
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超高溫配件 |
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顯示器 |
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轉接頭 |
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射頻測試配件 |
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屏蔽箱 |
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光學平臺 |
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鍍金卡盤 |
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光電測試配件 |
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高壓測試配件 |
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分子泵組 |
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激光系統 |
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氣敏測試配件 |
規格及設計如有更改，恕不另行通知。
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